SecsGem通訊軟件SECS是Semiconductor Equipment Communication Standard的簡(jiǎn)稱(chēng),GEM 是Generic Equipment Model的簡(jiǎn)稱(chēng)。SecsGem協(xié)議被認為是從工具到主機通信的最佳方案通訊,因此在六寸以上的晶圓制造工廠(chǎng)它是常見(jiàn)
SecsGem通訊軟件
SECS是Semiconductor Equipment Communication Standard的簡(jiǎn)稱(chēng),GEM 是Generic Equipment Model的簡(jiǎn)稱(chēng)。SecsGem協(xié)議被認為是從工具到主機通信的最佳方案通訊,因此在六寸以上的晶圓制造工廠(chǎng)它是常見(jiàn)的通訊標準。
為了分析和統計設備的生產(chǎn)有效性,派生出了SEMI標準E10,該標準定義了六個(gè)設備狀態(tài):生產(chǎn)、待機、工程、計劃停機、非計劃停機和無(wú)計劃。這樣一個(gè)單一的軟件工具將使用現有的固定資產(chǎn)設備增加生產(chǎn)力。
無(wú)錫華意興航電子科技有限公司應客戶(hù)的要求,開(kāi)發(fā)出了HOST和Equipment SecsGem兩種通訊軟件。
HOST SecsGem軟件能完成主要的通訊功能:
1.建立通訊(Establish Communications Request):S1F1、S1F13
2.狀態(tài)變量查詢(xún)(Variable query):S1F3
3.設備菜單查詢(xún)(Current PPID Request):S7F19
4.下載菜單(PPSelect)、遠程控制(START/STOP/RESET):S2F41
Equipment軟件的功能由兩部分組成:
第一部分是負責采集Omron PLC控制系統的狀態(tài)數據、收集報警和事件信息、下載菜單參數和發(fā)送控制命令等?;赑C-Base的程序與Omron PLC通過(guò)C-Mode 協(xié)議(Command)由RS232進(jìn)行通訊。
第二部分是負責與HOST建立通訊、回答HOST的查詢(xún)與請求、執行HOST的遠程控制命令和向HOST上報機臺的報警與事件。Equipment與HOST是通過(guò)TCP/IP協(xié)議執行SecsGem標準進(jìn)行通訊的。